一種生成低電阻率超純水的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023220606.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214167626U 公開(公告)日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN214167626U 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) C02F9/04(2006.01)I;C02F1/68(2006.01)I;C02F103/04(2006.01)N 分類 水、廢水、污水或污泥的處理;
發(fā)明人 蔣新;李曉波;施利君;宋金林 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州晶洲裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州根號(hào)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 呂正剛
地址 215500江蘇省蘇州市常熟市辛莊鎮(zhèn)光華環(huán)路32號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種生成低電阻率超純水的裝置,包括二氧化碳供給管路、超純水供給管路、二氧化碳溶解裝置,其中,所述二氧化碳溶解裝置包括密閉的殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的纖維膜管以及設(shè)置在殼體上的二氧化碳進(jìn)口、二氧化碳出口、純水進(jìn)口、純水出口,二氧化碳進(jìn)口與二氧化碳出口與所述殼體導(dǎo)通,所述純水進(jìn)口與純水出口與所述纖維膜管的兩端分別連接導(dǎo)通,所述二氧化碳供給管路與所述二氧化碳進(jìn)口相連,所述超純水供給管路與所述純水進(jìn)口相連。本申請(qǐng)能夠有效地將二氧化碳溶解于超純水中,并能精確控制超純水的電阻率,保證超純水電阻率的高穩(wěn)定性,從而確保最終產(chǎn)品的良品率。