一種具有高精度控溫功能的電化學(xué)沉積槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120259405.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214400260U 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN214400260U 申請公布日 2021-10-15
分類號 C03C17/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 蔣新;張軍;施利君;陳書良 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶洲裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州根號專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱華慶
地址 215500江蘇省蘇州市常熟辛莊鎮(zhèn)光華環(huán)路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種具有高精度控溫功能的電化學(xué)沉積槽，它包括：槽體；噴盤，所述噴盤用于噴射藥液以促進(jìn)藥液流動(dòng)，所述噴盤設(shè)置在所述槽體內(nèi)，所述噴盤將所述槽體內(nèi)間隔成至少兩個(gè)分區(qū)，每個(gè)所述分區(qū)中設(shè)置有兩個(gè)溫度傳感器；循環(huán)管，所述循環(huán)管中設(shè)置有循環(huán)泵，所述循環(huán)管連接在所述槽體周壁與所述噴盤之間，所述循環(huán)組件用于將所述槽體內(nèi)藥液引導(dǎo)至所述噴盤。由于在每個(gè)分區(qū)設(shè)置兩個(gè)溫度傳感器，從而在其中一個(gè)溫度傳感器損壞時(shí)仍保證正常運(yùn)行；由于循環(huán)管和噴盤的作用，促進(jìn)藥液流動(dòng)，促進(jìn)藥液溫度勻勻性。最終使藥液溫度控制更精確。