一種具有藥液循環(huán)功能的電化學(xué)沉積槽

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120259410.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214400261U 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN214400261U 申請公布日 2021-10-15
分類號 C03C17/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 張軍;施利君;陳書良 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶洲裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州根號專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱華慶
地址 215500江蘇省蘇州市常熟辛莊鎮(zhèn)光華環(huán)路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種具有藥液循環(huán)功能的電化學(xué)沉積槽，它包括：槽體；噴盤，所述噴盤用于噴射藥液以促進(jìn)藥液流動，所述噴盤設(shè)置在所述槽體內(nèi)；循環(huán)管，所述循環(huán)管中設(shè)置有循環(huán)泵，所述循環(huán)管連接在所述槽體周壁與所述噴盤之間，所述循環(huán)組件用于將所述槽體內(nèi)藥液引導(dǎo)至所述噴盤。由于循環(huán)管的作用，使槽體內(nèi)周邊的藥液通過循環(huán)管泵至噴盤中噴射，達(dá)到攪拌循環(huán)的作用，從而使藥液成分及藥液溫度的均勻性同時得到保障，從而提高電化學(xué)沉積工藝質(zhì)量。