一種廢顯影液過濾系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110298234.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113058433A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113058433A 申請公布日 2021-07-02
分類號 B01D61/58;G03F7/30 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 胡磊;魏攀龍;施利君;蔣新 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶洲裝備科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 215555 江蘇省蘇州市常熟市辛莊鎮(zhèn)光華環(huán)路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種廢顯影液過濾系統(tǒng)，該廢顯影液過濾系統(tǒng)中，第一循環(huán)過濾裝置具有第一過濾腔，第一過濾腔內(nèi)設(shè)置有第一過濾膜，第一過濾膜將第一過濾腔分為第一腔和第二腔，第一腔與供料罐連通，第二循環(huán)過濾裝置具有第二過濾腔，第二過濾腔內(nèi)設(shè)置有第二過濾膜，第二過濾膜將第二過濾腔分為第三腔和第四腔，第三腔與第二腔連通，第一過濾膜和第二過濾膜均采用全氟硅烷改性的聚醚砜材料制成，回收液收集罐與第四腔連通，反沖洗裝置與第二腔和第四腔連通，用于沖洗第一過濾膜和第二過濾膜，廢液收集罐與第一腔和第三腔連通。該廢顯影液過濾系統(tǒng)使用周期長，易清洗，減少更換第一過濾膜和第二過濾膜的頻率，降低生產(chǎn)成本。