一種體聲波諧振器的底電極結(jié)構(gòu)及工藝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010042966.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111200414A 公開（公告）日 2020-05-26
申請公布號 CN111200414A 申請公布日 2020-05-26
分類號 H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請（專利權(quán)）人 湖州見聞錄科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 杭州見聞錄科技有限公司
地址 313000 浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種體聲波諧振器的底電極結(jié)構(gòu)及工藝方法，通過在襯底上制作出空腔，并在空腔上方制作底電極層，在底電極層周圍施加絕緣材料層以使得絕緣材料層的表面與底電極層的表面保持平坦，提高壓電層的應(yīng)力一致性，在絕緣材料層和底電極層的表面上制作壓電層以使得壓電層不接觸襯底，減小壓電層的應(yīng)力影響，使器件的機(jī)電耦合系數(shù)控制在最佳范圍，提高諧振器品質(zhì)因素、器件良率和器件成品的一致性和可靠性，并且使器件的有效諧振面積更大更接近空腔但不超出空腔，可以減小器件尺寸約5％。