一種高效光刻膠剝離液液面調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920795058.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210015328U 公開（公告）日 2020-02-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN210015328U 申請(qǐng)公布日 2020-02-04
分類號(hào) G03F7/42 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李虎寶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司
地址 214420 江蘇省無錫市江陰市華士鎮(zhèn)向陽橋堍
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種高效光刻膠剝離液液面調(diào)節(jié)裝置，包括分離箱、分離池以及存儲(chǔ)罐,所述分離池位于分離箱端面，所述存儲(chǔ)罐位于分離箱內(nèi)部，分離池與存儲(chǔ)罐之間分別通過進(jìn)液管與出液管相互連通，所述存儲(chǔ)罐端面具有液體流入口，所述存儲(chǔ)罐內(nèi)設(shè)有活塞，所述分離箱內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)單元；本實(shí)用新型涉結(jié)構(gòu)緊湊，生產(chǎn)過程中可對(duì)剝離液的高度實(shí)現(xiàn)精確控制，進(jìn)一步加強(qiáng)了設(shè)備的自動(dòng)化和智能化，提高了生產(chǎn)效率。