一種銅腐蝕液用生產線及其生產方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010716163.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111871294A | 公開（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申請公布號 | CN111871294A | 申請公布日 | 2020-11-03 |
| 分類號 | B01F13/06(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 殷金虎;李虎寶;李冬明 | 申請（專利權）人 | 江陰市化學試劑廠有限公司 |
| 代理機構 | 江陰市權益專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 江陰市化學試劑廠有限公司 |
| 地址 | 214420江蘇省無錫市江陰市華士鎮(zhèn)向陽橋堍 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種銅腐蝕液用生產線及其生產方法，所述銅腐蝕液生產方法的生產步驟為：抽真空、加乙酸、加硝酸、加磷酸、加表面活性劑、過濾、檢驗和儲存分裝；所述包含配制罐（1）、乙酸儲罐（2）、硝酸儲罐（3）、磷酸儲罐（4）、表面活性劑儲罐（5）、真空泵（6）、單向閥（7）、三通（8）、壓縮空氣水洗裝置（9）、濾芯（10）、檢驗裝置（11）和三通閥（12）。本發(fā)明生產的銅腐蝕液不腐蝕鋁、鎵等金屬層及硅片、銅腐蝕速率平穩(wěn)可控、生產成本低。?? |
