一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010809812.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114078746A 公開（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114078746A 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) H01L21/768（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 江濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中芯南方集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市一法律師事務(wù)所 代理人 劉榮娟
地址 200120上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張江路18號(hào)3號(hào)樓5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┌雽?dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法，所述方法包括：提供襯底，所述襯底上形成有第一介質(zhì)層以及貫穿所述第一介質(zhì)層的金屬連接結(jié)構(gòu)；在所述第一介質(zhì)層表面和所述金屬連接結(jié)構(gòu)表面形成第二介質(zhì)層；在所述第二介質(zhì)層中形成溝槽，所述溝槽暴露所述金屬連接結(jié)構(gòu)的表面；使用堿性清洗溶液清洗所述溝槽；鈍化處理所述暴露出的金屬連接結(jié)構(gòu)表面。本申請(qǐng)所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法，使用堿性溶液來清洗所述溝槽，不會(huì)腐蝕或損傷所述金屬連接結(jié)構(gòu)；進(jìn)一步地，清洗完成后對(duì)所述金屬連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行鈍化處理來進(jìn)行保護(hù)，可以提高器件可靠性。