小流量純氣體的識別和流量測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200420107659.9 申請日 -
公開（公告）號 CN2738249Y 公開（公告）日 2005-11-02
申請公布號 CN2738249Y 申請公布日 2005-11-02
分類號 G01N27/416;G01N27/407;G01N35/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐民海 申請（專利權(quán)）人 上海科創(chuàng)色譜儀器有限公司
代理機構(gòu) 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 上?？苿?chuàng)色譜儀器有限公司
地址 201800上海市嘉定區(qū)城中路20號226信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種小流量純氣體的識別和流量測量系統(tǒng)，包括電源、半導(dǎo)體流量傳感器和電參數(shù)信號檢測裝置，其特征在于還包括與檢測裝置輸出端連接的單片機系統(tǒng)，該單片機內(nèi)設(shè)置有用于電參數(shù)的分析處理軟件。其有益效果是，由于采用了單片微機技術(shù)，實現(xiàn)了小流量檢測領(lǐng)域自動化測量零的突破。