一種晶圓對中裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820449921.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208093534U 公開（公告）日 2018-11-13
申請公布號 CN208093534U 申請公布日 2018-11-13
分類號 H01L21/68 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙寧;白富強;陳波 申請（專利權(quán)）人 上海新創(chuàng)達半導體設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 上海新創(chuàng)達智能科技有限公司;上海新創(chuàng)達半導體設(shè)備技術(shù)有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號2幢2區(qū)24144室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓對中裝置，其中晶圓對中裝置包括控制器，可旋轉(zhuǎn)的支撐臺組件，若干夾爪組件，可徑向伸縮的裝設(shè)于支撐臺組件上，且布置在晶圓擺放位置的四周側(cè)，張力模塊，連接至夾爪組件，驅(qū)動機構(gòu)，通過張力模塊與夾爪組件連接，驅(qū)動機構(gòu)通過張力模塊帶動夾爪組件伸縮以調(diào)整晶圓位置，以及缺邊尋找傳感器，設(shè)置在支撐臺組件上，以感測晶圓的缺邊位置，其中，控制器根據(jù)張力模塊的張力變化控制夾爪組件對晶圓的夾緊力，并且根據(jù)缺邊尋找傳感器的檢測結(jié)果控制支撐臺組件旋轉(zhuǎn)以帶動晶圓到預設(shè)角度，控制器控制驅(qū)動機構(gòu)使其帶動夾爪組件將晶圓移動到預設(shè)位置。實現(xiàn)對于超薄、形狀不規(guī)則的晶圓的快速對中。