一種生產(chǎn)多孔海綿類金屬的設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN01128040.9 申請日 -
公開（公告）號 CN1167825C 公開（公告）日 2004-09-22
申請公布號 CN1167825C 申請公布日 2004-09-22
分類號 C23C14/35;C23C14/14;C22C1/08;C22C1/08;C23C14/14;C23C14/35 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 付超;劉敏;王毓民;鄭恩濤;魏海波;李爽 申請（專利權）人 沈陽金昌普新材料股份有限公司
代理機構 沈陽科威專利代理有限責任公司 代理人 于菲
地址 110179中國沈陽市渾南新區(qū)世紀路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多孔類海綿金屬的生產(chǎn)設備，它包括殼體及與殼體相連接的真空系統(tǒng)，殼體上開有門，并設有推拉式小車，磁控濺射陰極、被鍍物卷繞機構及門體安裝在小車上，磁控濺射陰極分兩列平行安裝，每列至少包含有一個靶極，被鍍物卷繞機構包括由電機拖動的收、放料輥筒和牽引輥，在收、放料輥筒與牽引輥之間安裝有過渡輥，并裝有線速度傳感器，牽引輥的徑向表面上設有壓力輥。被鍍物在磁控濺射區(qū)域內(nèi)所受力除被鍍物自身的重力之外，其橫斷面的拉力近似于零，所以被鍍物不會產(chǎn)生變形，完全適合于海綿類物體的鍍制要求。可以一次性完成兩面的膜層鍍制，生產(chǎn)效率高，成本低，適合于工業(yè)化生產(chǎn)。由于兩排靶極平行安裝，且與被鍍物平行，所以鍍制的膜層均勻。