一種半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源原料防凝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110230382.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113023127A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113023127A 申請公布日 2021-06-25
分類號 B65D88/06;B65D90/00;B65D90/12 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;王桂枝 申請（專利權(quán)）人 山東芯源微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘區(qū)清源大街北段路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源原料防凝裝置，屬于生產(chǎn)成型設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)架、偏心輪，在所述偏心輪上部設(shè)有對稱的擋板，在所述擋板側(cè)面上下分別設(shè)有上支撐桿、下支撐桿，在所述上支撐桿、下支撐桿端部分別設(shè)有張力彈簧、限位塊，套筒組件套接在上支撐桿、下支撐桿上的張力彈簧、限位塊的中間位置，在所述套筒組件側(cè)面設(shè)有軸承座，料桶兩端分別置于軸承座上。旋轉(zhuǎn)電機(jī)輸出端連接轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)，一方面，料桶兩端分別置于軸承座上，能夠在軸承座內(nèi)自轉(zhuǎn)，另一方面，偏心輪轉(zhuǎn)動(dòng)，在離心力的作用下，料桶兩端連接的套筒組件在上支撐桿、下支撐桿滑動(dòng)，擠壓或拉伸張力彈簧，形成擺動(dòng)，通過擺動(dòng)和自轉(zhuǎn)防止料桶漿料凝結(jié)。