一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821446375.0 申請日 -
公開（公告）號 CN208689360U 公開（公告）日 2019-04-02
申請公布號 CN208689360U 申請公布日 2019-04-02
分類號 G03F7/16（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖功武 申請（專利權(quán)）人 江西國輝光電科技有限公司
代理機構(gòu) 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃宗熊
地址 343700 江西省吉安市泰和縣工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置，它包括一玻璃基板，玻璃基板周圍表面上開有槽，玻璃基板上還開有一個通孔，通孔與槽連通，玻璃基板表面覆蓋有菲林，槽被菲林完全覆蓋，通孔連接一真空泵，通孔與真空泵之間設(shè)有一閥門。本實用新型解決曝光菲林貼附效果不佳的問題，從而提高曝光質(zhì)量，改善圖案變形。