一種基片表面檢測(cè)方法和設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811016795.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109211733B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109211733B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01N13/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳子天;李文濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 賽納生物科技（北京）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京萬(wàn)象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蘇愛(ài)華 |
| 地址 | 102206北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科創(chuàng)七街29號(hào)院7樓1層101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種基片表面檢測(cè)方法和設(shè)備，利用基片同檢測(cè)液體之間的接觸線以及夾角的變化檢測(cè)基片的均勻性。本發(fā)明提供一種基片表面檢測(cè)方法和設(shè)備，其包括移動(dòng)裝置，第一容器，第一液體，液面探測(cè)裝置；所述第一液體盛放在第一容器中；所述移動(dòng)裝置用于使基片與第一液體產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)；所述液面探測(cè)裝置用于探測(cè)液體與基片之間的夾角。這種方法可以用于檢測(cè)基片表面的均勻性。本發(fā)明設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，造價(jià)低，檢測(cè)速度快等特點(diǎn)。?? |
