一種電鑄模具及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610122272.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105734619A 公開（公告）日 2016-07-06
申請公布號 CN105734619A 申請公布日 2016-07-06
分類號 C25D1/10(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 郭哲;劉祝凱;許斌;梁剛;李曉龍 申請（專利權(quán)）人 北京同方華光系統(tǒng)工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京億騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 陳霽
地址 101500 北京市密云縣密云經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)水源路4號清華同方信息綜合樓202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種電鑄模具的制備方法，在一個實施例中，所述方法包括：根據(jù)微流控設(shè)計的圖形，設(shè)計負(fù)性掩模板；在襯底上旋涂負(fù)性光刻膠；利用所述負(fù)性掩模板對所述襯底上的光刻膠進(jìn)行曝光處理；對所述曝光處理后的光刻膠進(jìn)行顯影處理，得到光刻膠圖形；對所述光刻膠圖形進(jìn)行表面金屬化處理；對所述表面金屬化的光刻圖形進(jìn)行電鑄處理，得到電鑄模具；將所述電鑄模具在堿性溶液中浸泡，獲得去除光刻膠的電鑄模具。該方法主要是針對光刻膠與電鑄模具如何剝離進(jìn)行改進(jìn)。借助此方法可以快速、高效的制備出表面光潔、無損傷的金屬模具，在很大程度上提高了電鑄模具與光刻膠的剝離效率，以及電鑄模具的質(zhì)量。