一種懸臂型端面耦合器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811039165.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109031518B 公開（公告）日 2020-01-03
申請公布號 CN109031518B 申請公布日 2020-01-03
分類號 G02B6/10;G02B6/12 分類 光學(xué);
發(fā)明人 陳昌華;柏艷飛;仇超;甘甫烷 申請（專利權(quán)）人 南通賽勒光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 南通賽勒光電科技有限公司
地址 226000 江蘇省南通市蘇通科技產(chǎn)業(yè)園1088號江成研發(fā)園內(nèi)4號樓北樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種懸臂型端面耦合器，包括：硅襯底，于硅襯底上刻蝕具有第一預(yù)設(shè)高度的溝槽；埋氧層，形成于硅襯底的上表面；埋氧層包括：平板層，平板層形成于硅襯底的上表面；脊型層，脊型層形成于平板層的上表面，并水平延伸出平板層；硅波導(dǎo)，硅波導(dǎo)形成于埋氧層中，位于脊型層的上方；氮化硅波導(dǎo)，氮化硅波導(dǎo)形成于埋氧層中，位于硅波導(dǎo)的上方。有益效果：采用脊型埋氧層，實現(xiàn)與單模光纖光場模斑匹配的端面耦合器，平板層作為該懸臂型端面耦合器的支撐結(jié)構(gòu)，保證機械穩(wěn)固性，可以充當(dāng)折射率匹配液的功能，降低該懸臂型端面耦合器對折射率匹配液的依賴性，氮化硅波導(dǎo)作為中間過渡層，使得單模光纖的光場能夠以較高的耦合效率進入硅波導(dǎo)中。