一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810894204.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109037044B 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN109037044B 申請公布日 2021-08-03
分類號 H01L21/228;H01L21/324;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳俊旻;張鵬;常青;謝耀輝;張冠綸 申請（專利權(quán)）人 通威太陽能（安徽）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆明合眾智信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 楊俊達(dá)
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)長寧大道與習(xí)友路交口西南角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝，其特征在于，包括以下步驟：S1、進(jìn)片；S2、第一次噴磷酸；S3、升溫初擴(kuò)散；S4、第一次降溫冷卻；S5、第二次噴磷酸；S6、升溫次擴(kuò)散；S7、第二次降溫冷卻；S8、出片。本發(fā)明的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝，通過兩次噴涂磷酸以及緊接著進(jìn)行兩步高溫擴(kuò)散的步驟，實現(xiàn)雙層擴(kuò)散的目的，并且配合著磷酸噴涂的流量和高溫擴(kuò)散的溫度設(shè)置，能夠很好的使得經(jīng)由本發(fā)明的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝的太陽能電池有效提升光電轉(zhuǎn)換效率，實用性很強(qiáng)，非常值得推廣。