一種碳化硅功率件中鈍化結(jié)構(gòu)的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210225676.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114724933A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114724933A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/04（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 周宏偉;高建寧;何歡;潘敏智 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 樂(lè)山無(wú)線(xiàn)電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 四川力久律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 614000四川省樂(lè)山市人民西路287號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明一種碳化硅功率件中鈍化結(jié)構(gòu)的制備方法，主要包括以下步驟：步驟1、在芯片上淀積PA鈍化層；步驟2、在PA鈍化層之上涂布PI鈍化層，并進(jìn)行曝光、顯影處理；步驟3、將所述步驟2得到的物料進(jìn)行烘干處理；步驟4、將步驟3烘干后的物料進(jìn)行刻蝕處理，漏出金屬層。本發(fā)明公開(kāi)了碳化硅功率件中鈍化結(jié)構(gòu)的制備方法，簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)的兩次光刻工藝過(guò)程，一次光刻工藝即可完成，且不需要使用額外的光刻膠，降低了原料成本，綠色環(huán)保；步驟簡(jiǎn)單，有效地減小了質(zhì)量控制的難度，便于推廣應(yīng)用。 |
