一種零位傳感器及檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110067141.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112902838A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號(hào) CN112902838A 申請公布日 2021-06-04
分類號(hào) G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 伍強(qiáng);李艷麗;顧崢 申請（專利權(quán)）人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;陳慧弘
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種零位傳感器及檢測系統(tǒng)，其中，零位傳感器包括設(shè)置在檢測對(duì)象底部的角反射器，角反射器包括三個(gè)相互垂直的反射面；設(shè)置在角反射器下方的光源和光強(qiáng)探測器，光源用于發(fā)出檢測光，光強(qiáng)探測器用于接收從角反射器的反射面反射回來的反射光，光強(qiáng)探測器包括四個(gè)象限的檢測分區(qū)和中央盲區(qū)，中央盲區(qū)與零位對(duì)應(yīng)。本發(fā)明的光刻機(jī)的零位傳感器及檢測系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)檢測對(duì)象的橫向偏移和垂向偏移的快速準(zhǔn)確的檢測，從而為檢測對(duì)象提供了可靠的零位基準(zhǔn)，有助于檢測對(duì)象進(jìn)行快速精準(zhǔn)的零位調(diào)整。