一種光刻裝置及曝光方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110067118.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112835269A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112835269A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 李艷麗;伍強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 吳世華;尹一凡 |
| 地址 | 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢JT2216室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻裝置，包括對(duì)應(yīng)分設(shè)于測(cè)量工位和曝光工位下方的兩個(gè)短程臺(tái)，所述兩個(gè)短程臺(tái)分別設(shè)于長(zhǎng)程臺(tái)的兩端；通過(guò)所述長(zhǎng)程臺(tái)的水平旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)短程臺(tái)在所述測(cè)量工位和曝光工位之間的位置交換；所述長(zhǎng)程臺(tái)上固定非接觸式電容傳感器的一端，所述非接觸式電容傳感器的另一端分別固定在所述短程臺(tái)上；根據(jù)非接觸式電容傳感器的電容值變化信息對(duì)短程臺(tái)進(jìn)行位置調(diào)整，確保旋轉(zhuǎn)之后的短程臺(tái)與長(zhǎng)程臺(tái)之間沒(méi)有發(fā)生偏移。本發(fā)明中光刻裝置可以確保旋轉(zhuǎn)之后的短程臺(tái)相對(duì)長(zhǎng)程臺(tái)的位置無(wú)偏差。?? |
