柱形光柵干涉儀及讀數(shù)頭總成裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110067125.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112902832A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112902832A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G01B9/02;G01B11/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 伍強;李艷麗 申請（專利權(quán)）人 上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;陳慧弘
地址 201800 上海市嘉定區(qū)葉城路1288號6幢JT2216室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柱形光柵干涉儀及讀數(shù)頭總成裝置，其中，讀數(shù)頭總成裝置包括：包括讀數(shù)頭總成以及升降機構(gòu)，在零位狀態(tài)下，所述旋轉(zhuǎn)平臺的轉(zhuǎn)動軸線、所述柱形光柵尺的中心軸線、讀數(shù)頭總成的中心軸線同軸設(shè)置，所述升降機構(gòu)設(shè)置在所述讀數(shù)頭總成的底部，用于在所述旋轉(zhuǎn)平臺開始轉(zhuǎn)動之前，將所述讀數(shù)頭總成提升至所述柱形光柵尺對應(yīng)的測量位置，以及在所述旋轉(zhuǎn)平臺完成轉(zhuǎn)動之后，將所述讀數(shù)頭總成降低至低于所述柱形光柵尺的底面。本發(fā)明采用了柱形光柵尺和讀數(shù)頭總成可升降分離的架構(gòu)，能夠在工位交換轉(zhuǎn)動的過程中，對旋轉(zhuǎn)平臺的轉(zhuǎn)動角度進行精密測量，并且在非交換轉(zhuǎn)動狀態(tài)下，避免讀數(shù)頭總成撞到柱形光柵尺。