一種硅片檢測機構及鍍膜設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022887834.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213459649U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213459649U 申請公布日 2021-06-15
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫津;劉恩華;張晨鑫;姜大俊 申請（專利權）人 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 224000江蘇省鹽城市鹽城經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)漓江路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)技術領域，公開一種硅片檢測機構及鍍膜設備。該硅片檢測機構包括傳輸組件、檢測組件和轉移組件，傳輸組件用于承接并傳輸?shù)拇兡す杵?，檢測組件位于傳輸組件的上方，檢測組件能夠檢測傳輸組件上的待鍍膜硅片的表面的反射率，轉移組件與檢測組件電連接，轉移組件被配置為根據(jù)檢測組件的檢測結果將待鍍膜硅片轉移至對應的石英舟內(nèi)。本實用新型提供的硅片檢測機構，轉移組件能夠根據(jù)檢測組件的檢測結果將待鍍膜硅片轉移至對應的石英舟內(nèi)，以將待鍍膜硅片分類，每個石英舟對應一種鍍膜工藝參數(shù)，每個待鍍膜硅片均能在與其表面的反射率相匹配的工藝參數(shù)下進行鍍膜處理，保證了硅片表面的鍍膜效果，產(chǎn)品質(zhì)量高。