一種新型晶體爐提拉結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920210234.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN201538828U 公開(公告)日 2010-08-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN201538828U 申請(qǐng)公布日 2010-08-04
分類號(hào) C30B15/30(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 黃小衛(wèi) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海元亮光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201800 上海市嘉定區(qū)馬陸鎮(zhèn)嘉戩公路328號(hào)6幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型晶體爐提拉結(jié)構(gòu),涉及晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域,包括晶桿機(jī)構(gòu)、提拉機(jī)構(gòu)、籽晶中心和新型稱重機(jī)構(gòu),其特征在于;在所述晶桿機(jī)構(gòu)的右側(cè)設(shè)有懸臂稱重桿,直線滑板軌道設(shè)在所述提拉機(jī)構(gòu)的左側(cè),與懸臂稱重桿相連,所述籽晶中心設(shè)在提拉機(jī)構(gòu)的下方,在所述籽晶中心的下方設(shè)置新型稱重機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是利用籽晶中心可調(diào)技術(shù)和新型稱重機(jī)構(gòu),利用全新的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),客服傳統(tǒng)設(shè)計(jì)的缺點(diǎn),從而提高了晶體生長(zhǎng)設(shè)備可靠性和穩(wěn)定性,在生產(chǎn)中提高了晶體材料的質(zhì)量。