一種用于晶圓裝載盒門(mén)體的擺放系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111423027.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114121745A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114121745A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/677（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張冬峰;鮑偉成;王文廣;王旭晨;葉瑩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州匯誠(chéng)匯智專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 莊米雪 |
| 地址 | 200000上海市中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓裝載盒門(mén)體的擺放系統(tǒng)，包括晶圓裝載機(jī)體，機(jī)體上設(shè)置對(duì)接口，晶圓裝載機(jī)體的一側(cè)面設(shè)置擺放機(jī)構(gòu)，擺放機(jī)構(gòu)包括擺動(dòng)組件、從動(dòng)組件和對(duì)接板，擺動(dòng)組件設(shè)置在對(duì)接板的上方，從動(dòng)組件設(shè)置在對(duì)接口的下方，擺動(dòng)組件、從動(dòng)組件分別與對(duì)接板連接，擺動(dòng)組件能驅(qū)動(dòng)對(duì)接板并將對(duì)接板擺放到對(duì)接口側(cè)上方，從動(dòng)組件能約束對(duì)接板的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度，使擺放到位的對(duì)接板的內(nèi)側(cè)面朝上。利用晶圓裝載機(jī)頂部的空間，使得晶圓裝載機(jī)的結(jié)構(gòu)布局更合理，將門(mén)體擺放到指定位置后，對(duì)接板接近水平放置，能通過(guò)對(duì)接板給予門(mén)體支撐力，降低對(duì)真空吸力的依賴，避免由于氣壓波動(dòng)帶來(lái)的影響，實(shí)現(xiàn)用于晶圓裝載盒門(mén)體打開(kāi)和取放機(jī)構(gòu)的模塊化設(shè)計(jì)。 |
