晶圓缺陷檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011339073.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112466787A 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN112466787A 申請公布日 2021-03-09
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 葉瑩 申請（專利權(quán)）人 上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤;高德志
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓缺陷檢測設(shè)備，包括：晶圓載臺，用于固定待檢測晶圓；浸潤液體提供模塊，用于提供浸潤液體，以將晶圓載臺上的待檢測晶圓浸沒在浸潤液體中，所述浸潤液體的折射率大于空氣的折射率；圖像獲取模塊，所述圖像獲取模塊包括攝像頭陣列，所述圖像獲取模塊通過攝像頭陣列一次拍攝獲得待檢測晶圓整個表面對應(yīng)的檢測圖像，且進行拍攝時所述攝像頭陣列至少有部分浸沒在浸潤液體中；缺陷判斷模塊，所述缺陷判斷模塊根據(jù)所述圖像獲取模塊獲得的檢測圖像，判斷所述待檢測晶圓的表面是否存在缺陷。本發(fā)明的晶圓缺陷檢測設(shè)備提高了缺陷檢測精度。??