精確控溫的圖像傳感器結(jié)構(gòu)及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011504896.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112802860A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112802860A 申請公布日 2021-05-14
分類號 H01L27/146;H01L23/34;H01L23/367;H01L23/38;H01L23/40;H01L35/32;H01L35/34 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周陽 申請（專利權(quán)）人 上海微阱電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 吳世華;陶金龍
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)芳春路400號1幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種精確控溫的圖像傳感器結(jié)構(gòu)，包括：上下堆疊在一起的圖像傳感器芯片和調(diào)溫芯片，所述圖像傳感器芯片和所述調(diào)溫芯片通過通孔電連接；所述調(diào)溫芯片包括第一有源區(qū)和第二有源區(qū)，通過第一導(dǎo)電互連結(jié)構(gòu)電連接所述第一有源區(qū)，第二導(dǎo)電互連結(jié)構(gòu)電連接所述第二有源區(qū)，流經(jīng)所述第一有源區(qū)的第一電流和流經(jīng)所述第二有源區(qū)的第二電流的方向相反。通過圖像傳感器芯片的溫度控制模塊控制流經(jīng)所述第一有源區(qū)的第一電流和流經(jīng)所述第二有源區(qū)的第二電流的方向和大小，實現(xiàn)調(diào)溫芯片的熱量傳輸，能使圖像傳感器芯片在最佳工作溫度上，實現(xiàn)高質(zhì)量的圖像長時間穩(wěn)定輸出，具有顯著的意義。