一種硅片辨別方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811593780.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109671652B 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN109671652B 申請公布日 2021-05-18
分類號 H01L21/67;H01L21/673;G06K9/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李佳青 申請（專利權(quán)）人 上海微阱電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;張磊
地址 201203 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)芳春路400號1幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片辨別方法，包括以下步驟：步驟S01：利用一硅片盒，當完成硅片取放后，對硅片盒內(nèi)每個槽位位置上待辨別硅片的ID信息進行掃描，得到硅片盒內(nèi)所有待辨別硅片的ID信息；步驟S02：將所述待辨別硅片的ID信息傳遞給制造執(zhí)行系統(tǒng)；步驟S03：通過所述制造執(zhí)行系統(tǒng)對所述待辨別硅片的ID信息進行比對，確認所述待辨別硅片的種類。本發(fā)明可以減少硅片盒種類的使用，提高硅片盒利用率，減少相關(guān)硅片分片過程的復雜性，降低出錯風險，提高生產(chǎn)效率。