一種用于鍍膜機真空室的工件架兼容機構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921039276.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210856324U | 公開（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申請公布號 | CN210856324U | 申請公布日 | 2020-06-26 |
| 分類號 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王越民;王燾駿 | 申請（專利權(quán)）人 | 佛山王氏航空光學科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京世譽鑫誠專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 郭官厚 |
| 地址 | 528225廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)北園(測試車間) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于鍍膜機真空室的工件架兼容機構(gòu)，本實用新型的掛桶下活動連接有可分離的小齒輪與旋轉(zhuǎn)中心的不動齒輪盤嚙合，形成了桶有自身自轉(zhuǎn)又圍繞爐體中心有公轉(zhuǎn)的狀態(tài)，使依附在掛桶表面的產(chǎn)品在旋轉(zhuǎn)中獲得靶材的離子濺射膜，實現(xiàn)弧形產(chǎn)品鍍膜，而小齒輪的頂端貫穿有掛架托盤，掛架托盤在掛桶的外圍圍繞放置掛架有若干組，等距于掛桶與靶材的距離，而掛架的底端連接有自轉(zhuǎn)齒輪機構(gòu)，依照掛架的原理，實現(xiàn)了平板形的產(chǎn)品鍍膜與弧面產(chǎn)品鍍膜的兼容，在平板鍍膜時，只要取下桶，裝上平板掛架即可；在鍍孤面產(chǎn)品時，取下平板掛架，裝上桶，從而實現(xiàn)一爐多用，有效減少了初投資，使有限的設備，更好適應了變化的市場對不同產(chǎn)品的需求。?? |
