一種改善光刻膠與晶圓粘附性的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110048723.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112698553A 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN112698553A 申請公布日 2021-04-23
分類號 G03F7/38;G03F7/40;G03F7/30;G03F7/20;G03F7/16;H01L21/027 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 馬陽陽;張東宏;李寶軍 申請（專利權(quán)）人 陜西彩虹新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 段宇
地址 712021 陜西省咸陽市秦都區(qū)彩虹二路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種改善光刻膠與晶圓粘附性的方法，其特征在于：包括對超純水清洗后晶圓進(jìn)行預(yù)烘烤，對光刻膠樣品進(jìn)行水浴放置以及在涂覆光刻膠前，設(shè)定程序預(yù)先手動噴霧光刻膠對應(yīng)的溶劑溶液，然后吸取一定量光刻膠對烘烤后的晶圓進(jìn)行涂覆；對涂覆有光刻膠的晶圓進(jìn)行曝光處理；對曝光后的晶圓進(jìn)行曝光后烘烤；對曝光后烘烤的晶圓進(jìn)行室溫冷卻處理；最后對晶圓進(jìn)行顯影。本發(fā)明提供的改善光刻膠與晶圓粘附性的方法中，首先對晶圓進(jìn)行預(yù)烘烤，使得晶圓表面能由親水變?yōu)槭杷?，增加光刻膠與晶圓的粘附性。