一種利用顯影液吸光度測(cè)試光刻膠用樹(shù)脂堿溶解速率的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110048728.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112683828A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112683828A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01N21/31(2006.01)I;G01B21/08(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 馬陽(yáng)陽(yáng);張東宏;李寶軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 陜西彩虹新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 712021陜西省咸陽(yáng)市秦都區(qū)彩虹二路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種利用顯影液吸光度測(cè)試光刻膠用樹(shù)脂堿溶解速率的方法，將樹(shù)脂粉末溶解在PGMEA中，制成一定濃度的樹(shù)脂溶液，并在涂膜顯影機(jī)上設(shè)定相應(yīng)程序于硅片上涂覆樹(shù)脂溶液，然后在一定顯影液堿度、流量條件下顯影，通過(guò)測(cè)試顯影液的吸光度值隨時(shí)間變化的曲線趨于穩(wěn)定的時(shí)間確定為樹(shù)脂顯影的最佳時(shí)間，最后沖洗、烘干計(jì)算結(jié)果。本發(fā)明的主要有益效果是：樹(shù)脂的堿溶解速率為光刻膠合成用樹(shù)脂的選型提供有力依據(jù)。整個(gè)過(guò)程耗時(shí)短，可靠性強(qiáng)，重復(fù)性好。?? |
