自動(dòng)化晶片拋光設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821079239.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208601304U 公開(kāi)（公告）日 2019-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN208601304U 申請(qǐng)公布日 2019-03-15
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I; B24B27/00（2006.01）I; B24B41/00（2006.01）I; B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 萬(wàn)明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州賽萬(wàn)玉山智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京艾普利德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 蘇州賽萬(wàn)玉山智能科技有限公司
地址 215311 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)石牌相石路1599號(hào)6號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型揭示了自動(dòng)化晶片拋光設(shè)備，包括料盤，用于承載工件；拋光機(jī)，用于對(duì)料盤上的工件進(jìn)行拋光；上料載具，具有放置至少一個(gè)帶有待加工工件的料盤的結(jié)構(gòu)；下料載具，具有放置至少一個(gè)帶有拋光后工件的料盤的結(jié)構(gòu)。本方案設(shè)計(jì)精巧，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過(guò)機(jī)械手進(jìn)行料盤的上料和下料來(lái)代替人工上料、下料，解決了人工上、下料勞動(dòng)強(qiáng)度大，安全性差及效率低的問(wèn)題，節(jié)約了人工成本，提高了加工效率。