用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410126845.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103871939B 公開（公告）日 2017-07-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN103871939B 申請(qǐng)公布日 2017-07-14
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳起偉;魏臻;孫智江;施榮華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 海迪芯半導(dǎo)體（南通）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215131 江蘇省蘇州市相城區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)漕湖產(chǎn)業(yè)園朝陽(yáng)工業(yè)坊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于生產(chǎn)藍(lán)寶石圖形襯底的分選方法，包括如下步驟：S1：調(diào)整光致發(fā)光設(shè)備的參數(shù)，對(duì)藍(lán)寶石圖形襯底外延層進(jìn)行光激勵(lì)測(cè)試，由外延層圖形化表面的微觀結(jié)構(gòu)所反射回的光進(jìn)行反射率測(cè)算；S2：對(duì)所述的微觀結(jié)構(gòu)的尺寸測(cè)量得到尺寸值；S3：建立反射率與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；S4：將待分選晶圓整批導(dǎo)入到光致發(fā)光設(shè)備中令設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行；S5：將微觀結(jié)構(gòu)的反射率實(shí)時(shí)通過(guò)對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)行晶圓分選。由于采用了以上技術(shù)方案，使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將圖形化結(jié)構(gòu)的檢測(cè)步驟得以簡(jiǎn)化，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模批量生產(chǎn)。