用于周期性光刻圖形尺寸監(jiān)控的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410126862.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103852976B 公開(kāi)（公告）日 2016-01-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN103852976B 申請(qǐng)公布日 2016-01-20
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳起偉;魏臻;孫智江;施榮華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 海迪芯半導(dǎo)體（南通）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215131 江蘇省蘇州市相城區(qū)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)漕湖產(chǎn)業(yè)園朝陽(yáng)工業(yè)坊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于周期性光刻圖形尺寸監(jiān)控的方法，包括如下步驟：S1：調(diào)整自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的灰階參數(shù)，對(duì)曝光顯影后的晶圓的膠柱進(jìn)行灰度測(cè)試，通過(guò)將膠柱表面反射回來(lái)的光進(jìn)行灰階運(yùn)算得到灰度值；S2：對(duì)所述的膠柱進(jìn)行尺寸測(cè)量得到尺寸值；S3：建立灰度值與尺寸值間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；S4：逐片進(jìn)行掃描曝光顯影后的晶圓；S5：將膠柱的灰度值實(shí)時(shí)通過(guò)對(duì)應(yīng)關(guān)系輸出為尺寸值。由于采用了以上技術(shù)方案，使得在藍(lán)寶石圖形化襯底領(lǐng)域可以將黃光蝕刻步驟后的檢測(cè)步驟得以簡(jiǎn)化，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。