一種微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910231592.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109991700A 公開（公告）日 2019-07-09
申請公布號 CN109991700A 申請公布日 2019-07-09
分類號 G02B6/12（2006.01）I; G02B6/122（2006.01）I; G02B6/293（2006.01）I; G02F1/01（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方青; 顧苗苗; 陳曉鈴; 張志群 申請（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器，屬于半導(dǎo)體光信號傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器，從下至上包括硅襯底、隔離層、波導(dǎo)層、上包層、加熱電極和電極引線，所述波導(dǎo)層包括陣列波導(dǎo)光柵、若干個傳輸波導(dǎo)和若干個微環(huán)諧振濾波器，陣列波導(dǎo)光柵中設(shè)有若干個輸出波導(dǎo)，每個輸出波導(dǎo)均通過一個傳輸波導(dǎo)連接一個微環(huán)諧振濾波器，陣列波導(dǎo)光柵中若干個輸出波導(dǎo)依次通過若干個傳輸波導(dǎo)連接若干個微環(huán)諧振濾波器組成微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器。本發(fā)明不但能夠通過AWG進行一次濾波、微環(huán)諧振濾波器進行二次濾波得到優(yōu)異的串?dāng)_特性，同時確保器件的總損耗與單個AWG相當(dāng)。