一種基于多層波導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)的端面耦合器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210336130.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114624821A 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN114624821A 申請公布日 2022-06-14
分類號 G02B6/30（2006.01）I;G02B6/42（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/122（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I;G02B6/132（2006.01）I;G02B6/136（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方青;馬曉悅;鄧衛(wèi);李斌;劉慶 申請（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機構(gòu) 昆明隆合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及基于多層波導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)的端面耦合器及其制備方法，本發(fā)明通過襯底層、埋氧層、第一波導(dǎo)層、第一隔離層、第二波導(dǎo)層、第二隔離層、第三波導(dǎo)層、上包層從下到上依次設(shè)置而成；第一波導(dǎo)層為兩根輸入S形波導(dǎo)和一根輸出波導(dǎo)；輸入S形波導(dǎo)由輸入錐形波導(dǎo)、輸入直波導(dǎo)、S形彎曲波導(dǎo)、輸入直波導(dǎo)和輸出錐形波導(dǎo)依次連接構(gòu)成；輸出波導(dǎo)由輸入錐形波導(dǎo)、輸入直波導(dǎo)和輸出錐形波導(dǎo)依次連接構(gòu)成；第三波導(dǎo)層的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)與第一波導(dǎo)層的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)相同，兩層結(jié)構(gòu)中對應(yīng)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)在垂直方向?qū)R；第二波導(dǎo)層含有一根輸出波導(dǎo)由輸入錐形波導(dǎo)和輸出直波導(dǎo)依次連接構(gòu)成。本發(fā)明能實現(xiàn)光纖或激光器與納米線波導(dǎo)進(jìn)行耦合，增加了對準(zhǔn)容差，提高了耦合效率。