一種多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910929900.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110824612A 公開（公告）日 2020-02-21
申請公布號 CN110824612A 申請公布日 2020-02-21
分類號 G02B6/12;G02B6/122 分類 光學;
發(fā)明人 方青;陳曉鈴;顧苗苗;胡鶴鳴;張馨丹;張志群 申請（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導體制造有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五華區(qū)學府路253號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)，屬于半導體光信號傳輸技術領域。該多層硅光子包括從下至上的SOI晶圓襯底、晶圓埋氧層、反射層、n層光波導層和波導的包層，所述n層光波導層通過多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)實現(xiàn)光在兩波導層之間的傳輸，三維光連接結(jié)構(gòu)包括2n?1個波導光柵，相鄰波導層的波導光柵刻蝕面相向。該三維光連接結(jié)構(gòu)由波導光柵構(gòu)成，通過成對設置正向與倒置兩波導光柵實現(xiàn)光在兩波導層之間的傳輸，可有效解決45°反射鏡放置困難或?qū)娱g高度差小，工藝難度大的問題。