一種用于鍍膜機腔體中的防護機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921124639.5 申請日 -
公開（公告）號 CN210620925U 公開（公告）日 2020-05-26
申請公布號 CN210620925U 申請公布日 2020-05-26
分類號 C23C14/34 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐志強;姜鈞 申請（專利權）人 承德奧斯力特電子科技有限公司
代理機構 北京方韜法業(yè)專利代理事務所（普通合伙） 代理人 承德奧斯力特電子科技有限公司
地址 067000 河北省承德市平泉市平泉鎮(zhèn)四合園村17組
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于鍍膜機腔體中的防護機構，包括由一類防護板和二類防護板圍成的可拆卸的防護箱，一類防護板上開設有與靶材面相對的通孔，二類防護板上開設有與導軌相對應且貫通的缺口。還包括設置在靶材與一類防護板之間的防護通道、設置在導軌上的導軌防護罩，以及限位板。本實用新型通過設置可拆卸的防護箱，并在防護箱側壁上分別設置相應的通孔和缺口，能實現(xiàn)既不影響鍍膜工作的順利進行，又能將濺射金屬攔截在該防護箱內(nèi)側，方便清理，利于回收貴重金屬，實現(xiàn)資源再利用。還通過加設防護通道和導軌防護罩，能進一步加強防護效果。還通過設置限位板，方便防護箱的拆裝。該防護機構結構簡單、易于拆裝，防護效果好，節(jié)能環(huán)保。