一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120568117.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214672525U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214672525U 申請公布日 2021-11-09
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫拓夫;陳名佶;王彩英;奚君 申請（專利權）人 蕪湖致通汽車電子有限公司
代理機構 北京中政聯(lián)科專利代理事務所（普通合伙） 代理人 謝愷
地址 241000安徽省蕪湖市衡山路35號汽車電子創(chuàng)業(yè)園A座8樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，涉及刻蝕裝置技術領域，包括裝置外殼，所述裝置外殼的頂部設置有風機，所述風機的出風口連通有風管。本實用新型，電機帶動牽引軸進行轉動，在牽引軸的轉動下牽引繩能夠拉動一個滾輪進行轉動，當?shù)谝粋€滾輪開始轉動時，銜接繩會拉動其他的滾輪進行轉動，因此來達到對單晶硅本體在裝置外殼的內(nèi)部進行穩(wěn)定傳動的目的，使得裝置能夠對單晶硅本體進行穩(wěn)定的刻蝕，提高了裝置的實用性，在刻蝕過程中風機將風通過風管輸送至裝置外殼的內(nèi)部，再由透風板輸出，從而達到了風向的流通的目的，有利于裝置在刻蝕過程中能夠保持一個好的通風環(huán)境，提高了裝置的工作效率，使得裝置能夠進行高效的對單晶刻蝕。