一種藍(lán)寶石襯底銅拋-CMP拋光的自動化產(chǎn)線及生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210256476.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114695204A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695204A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡中偉;王寒山;賴志遠(yuǎn);陳悅;章玉強(qiáng);于怡青;徐西鵬 申請（專利權(quán)）人 華僑大學(xué)
代理機(jī)構(gòu) 廈門智慧呈睿知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 362000福建省泉州市城華北路269號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底銅拋?CMP拋光的自動化產(chǎn)線及生產(chǎn)方法。該自動化產(chǎn)線，包括皮帶運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、機(jī)械手組件、銅拋機(jī)、清洗機(jī)和CMP拋光機(jī)。自動化產(chǎn)線配置為機(jī)械手組件能抓取皮帶運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上的貼有藍(lán)寶石襯底的承載件進(jìn)入銅拋機(jī)，并能抓取銅拋機(jī)中的貼有藍(lán)寶石襯底的承載件進(jìn)入清洗機(jī)中，以及能抓取清洗機(jī)中的貼有藍(lán)寶石襯底的承載件進(jìn)入CMP拋光機(jī)，以及能抓取CMP拋光機(jī)中的貼有藍(lán)寶石襯底的承載件進(jìn)入皮帶運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明利用自動化設(shè)備設(shè)計自動化產(chǎn)線代替目前的貼有藍(lán)寶石襯底的承載件的上下料、清洗以及工序間的搬運(yùn)主要靠人工來完成的產(chǎn)線，能夠?qū)崿F(xiàn)工件從傳送帶上自動上下料，減少了人工參與對襯底的污染和損傷，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。