一種清除腔室碎片的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022807879.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214321173U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214321173U 申請公布日 2021-10-01
分類號 B08B6/00（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 楊寶海;德克.赫伯曼;楊娜;潘家永;許偉偉;宋玉超;烏維.赫伯曼;李軼軍;李翔;李敦信;李義升 申請（專利權(quán)）人 營口金辰機(jī)械股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 周濤
地址 115000遼寧省營口市沿海產(chǎn)業(yè)基地新港大街95號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種清除腔室碎片的裝置及PECVD設(shè)備的碎片清除方法涉及光伏設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及光伏用的板式PECVD設(shè)備和腔室碎片清除裝置及碎片清除方法。本實用新型包括抓手裝置、靜電發(fā)生裝置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板與靜電發(fā)生裝置相配合，所述抓手裝置與碎片清除板相配合。