PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機(jī)構(gòu)及與該傳送機(jī)構(gòu)配合的工藝腔室
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021957128.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212517147U | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212517147U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 楊寶海;楊娜;潘家永;許偉偉;宋玉超;李軼軍;李翔;李敦信;李義升 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 營口金辰機(jī)械股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 周濤 |
| 地址 | 115000遼寧省營口市沿海產(chǎn)業(yè)基地新港大街95號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機(jī)構(gòu)及與該傳送機(jī)構(gòu)配合的工藝腔室涉及太陽能電池設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于制造異質(zhì)結(jié)太陽能電池的PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機(jī)構(gòu)及與該傳送機(jī)構(gòu)配合的工藝腔室。本實(shí)用新型提供一種不需要使用載板，成本低廉，提高產(chǎn)能的PECVD設(shè)備無載板的硅片傳送機(jī)構(gòu)及與該傳送機(jī)構(gòu)配合的工藝腔室。本實(shí)用新型的無載板硅片傳送機(jī)構(gòu)，包括取片裝置，其特征在于：取片裝置底部設(shè)置有抓手。?? |
