PECVD設備無載板硅片傳送機構及與該傳送機構配合的工藝腔室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010940861.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111916383A 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN111916383A 申請公布日 2020-11-10
分類號 H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊寶海;楊娜;潘家永;許偉偉;宋玉超;李軼軍;李翔;李敦信;李義升 申請（專利權）人 營口金辰機械股份有限公司
代理機構 沈陽亞泰專利商標代理有限公司 代理人 營口金辰機械股份有限公司
地址 115000遼寧省營口市沿海產業(yè)基地新港大街95號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 PECVD設備無載板硅片傳送機構及與該傳送機構配合的工藝腔室涉及太陽能電池設備技術領域，尤其涉及用于制造異質結太陽能電池的PECVD設備無載板硅片傳送機構及與該傳送機構配合的工藝腔室。本發(fā)明提供一種不需要使用載板，成本低廉，提高產能的PECVD設備無載板的硅片傳送機構及與該傳送機構配合的工藝腔室。本發(fā)明的無載板硅片傳送機構，包括取片裝置，其特征在于：取片裝置底部設置有抓手。??