一種基于深度學(xué)習(xí)的薄膜表面缺陷檢測(cè)方法、系統(tǒng)及設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910694129.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110473179A 公開（公告）日 2019-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN110473179A 申請(qǐng)公布日 2019-11-19
分類號(hào) G06T7/00;G06K9/62;G06N20/00 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 毛雪慧;陳果;閆龑;王洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海深視信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海深視信息科技有限公司
地址 200241 上海市閔行區(qū)東川路555號(hào)乙樓1027室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種基于深度學(xué)習(xí)的薄膜表面缺陷檢測(cè)方法、系統(tǒng)及設(shè)備。一種基于深度學(xué)習(xí)的薄膜表面缺陷檢測(cè)方法包括S1：對(duì)檢材正面進(jìn)行圖像采集；S2：對(duì)所述檢材反面進(jìn)行所述圖像采集；S3：進(jìn)行圖像預(yù)處理；S4：進(jìn)行輪廓外觀缺陷檢測(cè)；S5：判斷輪廓檢測(cè)結(jié)果；S6：使用多通道進(jìn)行融合，得到多通道融合圖像；S7：導(dǎo)入預(yù)先訓(xùn)練好的深度學(xué)習(xí)模型中。一種基于深度學(xué)習(xí)的薄膜表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)包括圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、圖像融合模塊和圖像檢測(cè)模塊；一種基于深度學(xué)習(xí)的薄膜表面缺陷檢測(cè)設(shè)備包括存儲(chǔ)器和處理器。本發(fā)明的有益效果是：可在成本低廉前提下，對(duì)光學(xué)薄膜缺陷進(jìn)行有效識(shí)別，減少人工成本，提高識(shí)別效率，且部署簡(jiǎn)單，可重復(fù)性較高。