一種蒸發(fā)鍍膜用回轉(zhuǎn)工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021158371.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212834006U 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN212834006U 申請公布日 2021-03-30
分類號 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白秋云 申請（專利權）人 成都超純應用材料有限責任公司
代理機構 成都睿道專利代理事務所（普通合伙） 代理人 潘育敏
地址 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及公裝夾具技術領域，具體而言，涉及一種蒸發(fā)鍍膜用回轉(zhuǎn)工裝，包括電機、支架、傳動機構和夾具盤，支架與真空腔的內(nèi)壁固定連接，傳動機構設于支架；傳動機構包括中心齒輪和行星齒輪，電機的輸出軸與中心齒輪連接，中心齒輪與行星齒輪嚙合，以帶動行星齒輪自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)；行星齒輪同軸設置有連接桿，夾具盤與連接桿可拆卸連接。在本實用新型中，夾具盤與連接桿可拆卸連接，在安裝基底時，可將夾具盤與連接桿分離，待夾具盤上按住好基底后，在將夾具盤固定在連接桿上，可拆卸的連接方式，便于安裝基底。??