一種SiO2基底PVD鍍膜用轉(zhuǎn)動(dòng)夾具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021158166.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212834005U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請公布號 | CN212834005U | 申請公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號 | C23C14/50(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 白秋云 | 申請（專利權(quán)）人 | 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都睿道專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 潘育敏 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)西航港空港二路1166號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及工裝基底夾具技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種SiO2基底PVD鍍膜用轉(zhuǎn)動(dòng)夾具，包括圓環(huán)支架、基底夾具和電機(jī)，所述圓環(huán)支架與鍍膜機(jī)真空腔的內(nèi)壁固定連接，所述基底夾具與所述圓環(huán)支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述電機(jī)的輸出端設(shè)有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪與所述圓環(huán)支架同軸；所述基底夾具的一端設(shè)有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪的軸向與所述基底夾具的載物面平行，且所述第一錐齒輪和所述第二錐齒輪嚙合。通過電機(jī)帶動(dòng)錐齒輪轉(zhuǎn)動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)基底夾具在圓環(huán)支架上翻轉(zhuǎn),使得基底夾具上的基底翻轉(zhuǎn)180°,便于對基底的另一板面進(jìn)行鍍膜,在操作時(shí),無需將基底夾具和基底從真空腔中拿出進(jìn)行翻面,也無需進(jìn)行兩次抽真空,簡化操作過程,提高鍍膜效率。?? |
