一種晶硅制絨設備的擋氣板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721192864.3 申請日 -
公開（公告）號 CN207441664U 公開（公告）日 2018-06-01
申請公布號 CN207441664U 申請公布日 2018-06-01
分類號 H01L21/67;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程強強;霍召軍 申請（專利權）人 橋德聯(lián)合自動化（蘇州）有限公司
代理機構 上海申新律師事務所 代理人 庫特勒環(huán)保科技（蘇州）有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)泰山路6號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶硅制絨設備的擋氣板，包括一“Y”型框架，其下半部為框架主體，上半部為兩塊框架擋邊；兩塊框架擋邊的內側面上分別開設有縱向的滑槽，兩條滑槽之間設有一透明擋板，框架主體內部設有一伸縮機構，伸縮機構與透明擋板的底部連接。本實用新型安裝在制絨設備的進料處，當擺放有晶硅片的籃子需要被送入制絨設備時，伸縮機構控制透明擋板落入框架本體中，以便抓手能夠順利地抓取籃子并將其吊入清洗槽內，當清洗晶硅片時，伸縮機構控制透明擋板上升至最頂處，擋板連同框架一起將制絨設備的進料處封閉起來，以阻擋清洗時產生的酸、堿性氣體從制絨設備中發(fā)散出來，從而避免車間環(huán)境遭受污染，保護了儀器設備和工人健康。