一種吸筆
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021530084.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212517152U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212517152U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 胡明;舒威;胡楊;陳懇;王虎;聶銘思 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 武漢銳晶激光芯片技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 詹守琴 |
| 地址 | 430000湖北省武漢市未來(lái)科技城A5北C1棟902室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種吸筆，屬于晶圓片吸附技術(shù)領(lǐng)域。所述吸筆包括：支撐桿、若干第一伸縮桿、若干連接桿及若干吸盤(pán)；若干所述第一伸縮桿的第一端均與所述支撐桿固定連接；若干所述第一伸縮桿與若干所述連接桿一一對(duì)應(yīng)，所述第一伸縮桿的第二端與相對(duì)應(yīng)的所述連接桿的第一端固定連接；若干所述連接桿與若干所述吸盤(pán)一一對(duì)應(yīng)，所述連接桿的第二端與相對(duì)應(yīng)的所述吸盤(pán)固定連接。本實(shí)用新型吸筆操作簡(jiǎn)便，不受薄片本身只能吸取特定的一面的限制，雙面皆可吸，操作簡(jiǎn)便，避免吸筆頭直接接觸晶圓片有效區(qū)域而造成損傷，可明顯消除由吸筆操作造成的各種損傷。?? |
