半導(dǎo)體器件用金鈹合金材料及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910244557.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102115833A 公開（公告）日 2011-07-06
申請公布號 CN102115833A 申請公布日 2011-07-06
分類號 C22C5/02(2006.01)I;C22C1/03(2006.01)I;B22D11/16(2006.01)I;H01L23/49(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 陳怡蘭;史秀梅 申請（專利權(quán)）人 北京農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司四季青支行
代理機構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱麗華
地址 100012 北京市朝陽區(qū)北苑路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件用金鈹材料及其制備方法和應(yīng)用，金鈹合金成分組成及質(zhì)量百分比：Be：1-5％，Au：余量。制備方法如下：按組分及質(zhì)量百分比配比計算、稱重備原材料；按金、鈹半導(dǎo)體器件用順序先后放入氧化鋁坩堝中，再將坩堝放入半圓形的可密封石英玻璃罩內(nèi)，并抽真空；使用電阻爐加熱，升溫使金、鈹熔化，精練后停止加熱；冷卻至50℃以下，得到金鈹中間合金；將得到的金鈹中間合金再用相同的方法與金一起熔化、精練，得到含鈹量較低的金鈹合金；用該合金再與金經(jīng)過熔煉、連鑄、拉拔工序，得到鍵合金絲。其是制備優(yōu)質(zhì)隧道二極管的基礎(chǔ)合金材料，應(yīng)用于制備二元化合物半導(dǎo)體薄膜電路上的線路與電極；還可制備鍵合金絲，利于實現(xiàn)金與半導(dǎo)體間的歐姆接觸。