BPMA的分區(qū)聚焦測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810842815.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109100382B 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN109100382B 申請公布日 2021-05-28
分類號 G01N23/2202(2018.01)I 分類 -
發(fā)明人 應平;周俊武;羅仙平;趙建軍;王清;王慶凱;溫利剛;賈木欣 申請（專利權(quán)）人 青海西部礦業(yè)工程技術(shù)研究有限公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭立明;趙鎮(zhèn)勇
地址 100160北京市豐臺區(qū)南四環(huán)西路188號總部基地十八區(qū)23號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種BPMA的分區(qū)聚焦測量方法，在樣品有效測量范圍劃分出9個或21個分區(qū)，分別在每個分區(qū)的中心分別聚焦，記錄每個分區(qū)的電鏡條件；聚焦完成后，BPMA軟件開始樣品測量，根據(jù)不同分區(qū)的不同的電鏡條件依次測量每分區(qū)，所述電鏡條件包括電鏡的工作距離；多個分區(qū)測量均完成后，保存一個測量數(shù)據(jù)文件。采用在一個樣品的測量面上分區(qū)聚焦測量的方法解決樣品輕度傾斜的問題。??