一種適合表面貼裝工藝的壓阻式加速度傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710429714.8 申請日 -
公開（公告）號 CN107265397B 公開（公告）日 2020-01-03
申請公布號 CN107265397B 申請公布日 2020-01-03
分類號 B81C1/00;G01P15/00 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 周志健;朱二輝;于洋;陳磊;楊力建;鄺國華 申請（專利權）人 廣東合微集成電路技術有限公司
代理機構 廣東莞信律師事務所 代理人 廣東合微集成電路技術有限公司
地址 523808 廣東省東莞市松山湖新竹路總部一號6棟5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及適合表面貼裝工藝的壓阻式加速度傳感器及其制造方法。使用的晶圓結構包括襯底層、頂層、絕緣層及在襯底層內與絕緣層界面位置設有空腔；頂層和襯底層為反相摻雜；襯底層上設有電隔離溝槽；被電隔離溝槽包圍的襯底層下面的絕緣層上設有金屬引腳；在頂層上形成有加速度傳感器的壓阻條、電學引線區(qū)；電學引線區(qū)與壓阻條部分及電隔離溝槽包圍的襯底部分重合；在電學引線區(qū)和電隔離溝槽包圍的襯底部分重合區(qū)設有電連接通道；頂層表面的絕緣層、頂層及絕緣層設有釋放槽，形成加速度傳感器的可動結構，鍵合保護蓋板，形成密封空腔。本發(fā)明的壓阻式加速度傳感器便于后續(xù)與相應控制電路(IC)實現(xiàn)三維(3D)封裝，工藝簡單，加工工藝先后順序靈活，成本低。